半導体製造装置関連
ヒーター
配管加熱ヒーター(最高耐熱1,200℃)。CE対応品・RoHS対応品石
熱電対
シース熱電対・セラコート熱電対、測温抵抗体、ウェーハセンサー
トラップ
半導体成膜装置用(MLBTR-H50V4)、トラップ制御コントローラー(CLT-3200)
シリコンウェハー
小ロット品、再生加工品、膜付け加工品、低抵抗品・高抵抗品